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棱镜耦合仪
高精度膜厚,折射率和光波导测试,不必预先知晓测试膜厚和折射率,可测量双膜结构中的每一单膜厚度及折射率。测试膜厚范围:120nm-150um,折射率范围1-3.35,常规折射率分辨率±0.0005.

光纤光谱仪
便携式,对5nm到200um范围内的单层或者多层膜进行快速测试,通过观测样品镜面反射的正弦曲线得到反射和膜厚的光学特性。

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